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分子泵的结构特点

       分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
       复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内(10-6 ~ 1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。