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chiller(半导体专用温控机)产品概述

       chiller主要用于半导体制程中对反映腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置。北京自动化技术研究院在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了chiller的稳定性、控制精度和响应速度。