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什么是半导体设备 2017/06/07
半导体设备即为利用半导体元件制造的电气设备。 半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半...
刻蚀有哪些方法 2017/06/07
刻蚀最简单最常用分类是:干法刻蚀和湿法刻蚀。显而易见,它们的区别就在于湿法使用溶剂或溶液来进行刻蚀。 湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程,是指利用溶液与预刻蚀材料之间...
chiller(半导体专用温控机)产品概述 2017/06/07
chiller主要用于半导体制程中对反映腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置。北京自动化技术研究院在常规PID控制算法的基础...
分子泵的结构特点 2017/06/07
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合...
分子泵的设计要点 2017/06/07
在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片...
分子泵叶片打碎原因 2017/06/07
造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点: 1、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,...